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分享于2010-10-09 10:24:8.0

调焦:载物台垂直运动,粗调计程每一圈为20mm,微调最小距离2.5微米...球管垂直方向电动驱动运动4.4探测器垂直方向电动驱动运动4.5探测器垂直方向运动...

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