产品功能    ZLM800多轴路同步测量激光干涉仪――真正的双频激光干涉仪,主要用于各种平台和部件的微位测量、各种摆镜角度变化量的监测、运动平台位移量和角度变化的检测、光刻机几何量的测量、数控机床几何量的测量等,最多可实现六轴联动。也可通过位移+偏摆+俯仰的三角关系检测物体的振动变化。    1.纳米级的多轴联动位移、速度、加速度的动静态测量分析及运动控制环同步测量校准;    2.同步实时测量多轴联动驱动部件的俯仰、扭摆、滚动的角位移变化, X-Y-Z 轴的联动插补位移误差及驱动匹配误差分析;    3.纳米级振动的多轴向同步数据采集测量和分析。

性能优势

l          系统采用双频激光发射器及多轴路干涉信号同步数据处理器,是真正意义上的双频激光干涉仪,频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别,众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。l          全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上唯一一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。l           激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm。l          干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm。l          基于可朔源的激光波长为位移量度量基准,应用双频激光外差式干涉原理及交流光电信号处理器,克服了单频激光干涉测量的直流电平漂移及受环境因素光强变化约束的弊端,具有极高的增益、高信噪比和抗电磁干扰性能,实现了可朔源的多光路外差式激光干涉测量。l          采样频率更快,最高达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。l          被测物体最大速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。l          无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。l          信号延时

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